激光尘埃粒子计数器是用来测里空气中尘埃微粒的数里及粒径分布的仪器,从而为空气洁净度的评定提供依据。核心部件是光学系统及动力采样系统。
用计数器对高效过滤器检漏,是用大气尘为尘源与粒子计数器配合,对高效过滤器作检漏检查。打开风机,在离高效过滤器表面25mm处采用激光尘埃粒子计数器扫描检测,扫描速度为5cm-30cm/s,检测出0.5μm的微粒数不得超过3500粒/m3。洁净度级别等于或高于100级的洁净车间的高效过滤器安装前必须作现场检漏,重点是检查过滤器有无破损漏泄等自身质量。所有级别的洁净车间,都要求对其安装好的高效过滤器作检漏,在现行规范没有给出检查数量时,可以自定一个比例,安装检漏的重点是空气过滤器边框密封质量。
用该方法检漏时的一般要求如下:
1.被检过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%-120%之间运行。
2.在被检过滤器上风侧测定大气尘的微粒数,以大于或等于0.5μM微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5×`10^4`粒/L;若检测超过滤器,则以大于或等于0.1μM微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5×`10^6`-3.5×`10^7`粒/L。
3.若上风侧浓度不符合上项规定,则应引入不经过滤的空气,如果还达不到规定,则不宜用激光尘埃粒子计数器检漏。
4.检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2-3CM处,以5-20MM/S的速度移动,对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。