激光尘埃粒子计数器的重合误差是指由于多个颗粒同时通过光敏区而造成的颗粒漏检。从国外的资料中可以发现,当尘埃粒子计数器在额定粒子浓度下检测时,计数损失不得超过5%,重合误差限制了仪器所能检测的最高浓度。
激光尘埃粒子计数器相信大家都很熟悉,目前我国广泛使用的是激光尘埃粒子计数器。进入正题之前,让我们再复习一下“激光尘埃粒子计数器”。激光尘埃粒子计数器是用来测定洁净空气中离散粒子的粒径及其粒子浓度的仪器,用以确定洁净室、洁净区的洁净度等级,也可以用来对洁净工作台和过滤器等的性能进行检测。
激光尘埃粒子计数器利用了光散射原理设计而成,采样空气以一定的流量从开启的吸气口通过有稳定光源照射的照射区,光线在空气悬浮粒子上发生散射,向前和向内的散射光会聚在光电倍增管之类的光电元件上,转换成了电脉冲信号。利用脉冲峰值与散射光强度成正比,而散射光强度又和粒子直径大小成一定比例,就可以通过分析电脉冲信号峰值来选择所需粒径,最后通过计算选定的脉冲信号数目就可得到大于特定粒径的微粒数量,从而测得一定气体流量下的粒子浓度。
目前尘埃粒子计数器已被广泛的应用于半导体、卫生、制药、防疫等各行各业中。它采用光散射原理将粒子的光散射信号通过光电器件转换成电信号,根据电信号脉冲高度的大小,经过一系列处理即可判断所测量粒子粒径的大小,该方法具有自动、实时、不破坏测试状态等优点。
随着科技的迅速发展,人们对尘埃粒子计数器的要求也越来越高,需要检测的粒径也越来越小,对仪器的准确性要求越来越严格。翻阅资料,我发现国外国外所有尘埃粒子计数器的性能指标上都有一项技术参数重合误差。